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(f)与其他低于50纳米的短沟道2DFET相比,走市资该研究的弹道2DInSeFET的SS与ID。近年来,场火具有原子级厚度的二维(2D)层状半导体已被探索为潜在的沟道材料,以支持进一步的小型化和集成电子。
1994年获首批国家杰出青年科学基金资助,爆投1999年入选首届教育部长江学者奖励计划特聘教授。(e)该研究的InSeFET与硅MOSFET的弹道比的基准,氢能齐步包括体硅FET、FinFET和双栅极(DG)硅FET。走市资(b,c)SS和DIBL的缩放趋势。
在Ti/Au接触器件(黄色)的转移特性的亚阈值区域中似乎有两个片段,场火对应于热发射(TE)和热场发射(TFE),这与先前报告中的40nmWS2 FET一致。爆投图4 InSeFET和硅FinFET的短沟道效应比较 2023SpringerNatureLimited(a)在漏极偏置VDS=0.1V(紫色)和0.5V(蓝色)时具有10nm栅极长度的典型2DInSeFET的传输特性。
氢能齐步(c)在一些有代表性的报告中对总电阻与载流子密度ns进行基准测试。
01、走市资导读国际器件与系统路线图(IRDS)预测,走市资对于硅基金属氧化物半导体(MOS)场效应晶体管(FET),栅极长度的缩放将停止在12nm,最终电源电压不会降至0.6V以下。场火相关研究成果以Ballistictwo-dimensionalInSetransistors为题发表在国际顶级期刊Nature上。
邱晨光研究员北京大学电子学院研究员,爆投博雅青年学者。此外,氢能齐步在10nm弹道InSeFET中可靠地提取了62Ωμm的低接触电阻,导致了更小的内在延迟和更低的能量延迟积(EDP),远低于预测的硅极限。
文献链接:走市资Ballistictwo-dimensionalInSetransistors,2023,https://doi.org/10.1038/s41586-023-05819-w)本文由LWB供稿。掺杂情况:场火Y原子被间隙捕获在Se原子之间(Se原子间)、In原子之间(In原子间)和InSe原子之间(H原子间)。
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